產(chǎn)品簡介

飛秒微加工系統(tǒng)屬于超精細加工設(shè)備，主要基于 UpTek公司的Phidia系列飛秒激光系統(tǒng)和Spearay系列激光加工模塊組成，并配置了德國Scoroff高端機柜。整個系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，具有工業(yè)級高穩(wěn)定性、高可靠性等特征。飛秒激光系統(tǒng)可 以輸出高能量窄脈寬的飛秒 脈沖激光:其脈沖寬度可窄 至120fs到40fs，輸出能量可高達0.1mJ到2mJ，從而確保系統(tǒng)可以有效處理幾 乎所有種類的材料。

激光加工模塊獨特的花崗石龍門支架結(jié)構(gòu)設(shè)計可以保證系統(tǒng)優(yōu)良的加工穩(wěn)定性，所配置運動平臺的高移動精度和大行程范圍使得系統(tǒng)在大幅面超精細處理領(lǐng)域有著非凡的能力。 

• 超快激光刻蝕
• 觸摸屏玻璃和ITO切割
• 表面處理和表面3D結(jié)構(gòu)制作
• 超精細鉆孔和切割

超快激光刻蝕

飛秒微加工系統(tǒng)配置大幅面高速掃描振鏡可以用來進行超精細雕刻、刻蝕，也可在透明材料內(nèi)部實現(xiàn)三維高精度內(nèi)雕。 

高精度劃線、切割

飛秒微加工系統(tǒng)可以輸出高峰值功率的飛秒脈沖激光，通過選用合適數(shù)值孔徑的聚焦物鏡可以對手機屏玻璃蓋板、ITO導電薄膜等材料實現(xiàn)高效、超精細劃線和切割。

二維和三維表面微結(jié)構(gòu)的制作

飛秒微加工系統(tǒng)不僅可以用來在材料表面制作二維結(jié)構(gòu)，也可以用來制作三維結(jié)構(gòu)，能夠得到的微結(jié)構(gòu)尺寸可達納米量級。

脆性易碎材料的切割、鉆孔

飛秒微加工系統(tǒng)可以對碳化硅、陶瓷以及藍寶石等脆性易碎材料進行超精細切割、鉆孔。通過配置加工頭可實現(xiàn)高徑深比的微孔制作。

產(chǎn)品參數(shù)

激光參數(shù)

加工模塊參數(shù)：

可選加工配件及其典型參數(shù)

掃描振鏡（適用于激光刻蝕）：

加工頭（適用于高精度鉆孔）：

高數(shù)值孔徑物鏡（適用于超精細切割劃線）：